磁控濺射
鍍膜玻璃生產(chǎn)線的原理是，利用
浮法玻璃在高真空狀態(tài)下應用離子濺射法沉積金屬和
金屬氧化物到玻璃表面，形成鍍膜玻璃.金屬和金屬氧化物利用光學衍射原理可生產(chǎn)各種顏色鍍膜玻璃,色彩豐富多彩,膜層牢固.而且具有很好的
隔熱保溫效果.目前我國大中城市高樓大廈
玻璃幕墻使用的絕大多數(shù)是引進德國或美國生產(chǎn)線生產(chǎn)的離線鍍膜玻璃。
國內(nèi)某知名鍍膜玻璃制造商在二十世紀九十年代引進了德國的大型磁控濺射鍍膜玻璃生產(chǎn)線，生產(chǎn)控制系統(tǒng)采用了Opto22的產(chǎn)品，這個系統(tǒng)使用一直十分穩(wěn)定，系統(tǒng)硬件極為可靠，很少購買備件，為了擴大產(chǎn)能，公司決定對生產(chǎn)線改造，在改造過程中系統(tǒng)依然采用了Opto22的以太網(wǎng)控制產(chǎn)品。改造的內(nèi)容是對新增的濺射室實現(xiàn)控制，在濺射室外通過循環(huán)冷卻水，當條件具備時，在濺射室內(nèi)通入設定比例的工藝氣體，通過控制濺射電源的電源功率和電流，實現(xiàn)對浮法玻璃的表面鍍膜。
由于原有系統(tǒng)在MS-DOS操作系統(tǒng)下運行，為維持工廠正常生產(chǎn)，暫時不做改造，但是為了和原有系統(tǒng)相配合，新程序設計選擇了多種控制方案，即單個濺射室控制，多個濺射室聯(lián)動。實現(xiàn)了靈活的控制。整個控制系統(tǒng)實現(xiàn)了以下功能：
（1）工作模式選擇：可以選擇單機控制，聯(lián)機控制
（2）工藝配方選擇：可以設置工藝氣體的多個配方，在滿足不同生產(chǎn)要求時候可以靈活調(diào)用各種配方。
（3）參數(shù)實時顯示：可以集中顯示各個濺射室的濺射電源功率，電流，電壓，工藝氣體質(zhì)量流量，循環(huán)冷卻水閥門狀態(tài)等。
（4）報警記錄：系統(tǒng)可以對濺射電源的電流偏差報警，工藝氣體質(zhì)量流量偏差報警，循環(huán)冷卻水斷流狀態(tài)報警，通訊故障報警。出現(xiàn)報警時候彈出告警窗口并聲光報警，生成報警日志文件記錄。
（5）實時及歷史趨勢記錄：可以記錄系統(tǒng)關鍵參數(shù)，如濺射電源電流，功率，工藝氣體質(zhì)量流量等，記錄周期可以靈活調(diào)整；
通過技術改造，工廠提高了產(chǎn)能，控制系統(tǒng)運行也一如原有OPTO22系統(tǒng)一樣的穩(wěn)定可靠。
